我國靶材行業急需突破人才和技術瓶頸

　　集成電路制造工藝的不斷前行，使得無論在微觀品質，還是宏觀規格上，對靶材的質量都提出了越來越高的要求。集成電路制造工藝的微細化、濺射用薄膜材料的多元化，要求靶材除了純度高、成分均勻等之外，還主要體現在靶材的致密度、晶粒尺寸、織構、電導率和結合強度等方面的嚴格要求;同時，隨著晶圓尺寸的逐漸增加，要求靶材尺寸也隨之增大，在大尺寸材料的組織性能均勻性控制、高精度成型加工等方面提出挑戰;此外，為了進一步提高靶材的使用性能，還需要對靶材的結構進行優化設計。這無疑對國內靶材企業提出了新的更高的挑戰。

　　雖然近年來我國集成電路、平板顯示、太陽能電池等產業的快速發展，讓我國已逐漸成為世界上薄膜靶材大的需求地區之一，但不可否認的是，超高純濺射靶材仍需從國外進口。

　　由于國內超高純濺射靶材產業起步較晚，且受到技術、資金和人才的限制，國內專業從事超高純濺射靶材的生產企業數量偏少，企業規模和技術水平參差不齊，多數國內企業處于企業規模較小、技術水平偏低、產業布局分散的狀態，市場尚處于開拓初期，主要集中在低端產品領域競爭。他指出，面對激烈的國際競爭，濺射靶材產業專業人才的匱乏成為制約國內靶材產業發展的痛點。“靶材的研制主要是在企業內實施，各靶材公司為在競爭中取得優勢，技術均高度保密，所以該行業專業化很強，人才選擇局限于為數不多的靶材公司內部。高校及科研院所開展濺射靶材基礎研究及應用研究較少，時間也較短，研究力度也沒有靶材公司大，因此培養的人才，無論是在數量上還是水平上都略顯不足。”姚力軍說。他同時指出，隨著全球制造中心向中國轉移，國外靶材供應商考慮到價格和交貨期的因素，希望實現本土化供應，于是，紛紛在中國建立加工廠，這無疑使得國內靶材業面臨的競爭更加激烈。“此外，我國超高純濺射靶材原材料制備尚需實現重大突破，原材料品質一致性、關鍵技術等問題也亟待解決。”姚力軍告訴記者。

　　以鉭靶材為例剖析行業普遍存在的問題，國外同行形成的技術及產業鏈壁壘，給鉭靶材本土化造成技術障礙與陷阱，無法形成反饋機制。同時，國外同行的鉭靶材產品技術成熟穩定，具有成本優勢，而鉭靶材在國內處于初始階段，生產成本高，不具備進入市場的成本優勢。